Titre :

An interferometric scanning microwave microscope and calibration method for sub-fF microwave measurements

Auteur(s) :

Dargent, Thomas [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Haddadi, Kamel [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Lasri, Tuami [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Clément, N. [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Ducatteau, D. [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Legrand, Bernard [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Tanbakuchi, H. [Auteur]
Théron, Didier [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]

Titre de la revue :

Review of Scientific Instruments

Pagination :

123705

Éditeur :

American Institute of Physics

Date de publication :

2013

ISSN :

0034-6748

Mot(s)-clé(s) en anglais :

Atomic force microscopy
Parasitic capacitance
Nanotechnology applications
Finite-element analysis
Interferometry
Vector network analyzer
MOS devices
Nanoparticles
Spectroscopy
Electrical characterization

Discipline(s) HAL :

Sciences de l'ingénieur [physics]/Micro et nanotechnologies/Microélectronique
Physique [physics]/Physique [physics]/Instrumentations et Détecteurs [physics.ins-det]
Physique [physics]/Physique [physics]/Optique [physics.optics]

Résumé en anglais : [en]

We report on an adjustable interferometric set-up for Scanning Microwave Microscopy. This interferometer is designed in order to combine simplicity, a relatively flexible choice of the frequency of interference used for ...
Lire la suite >We report on an adjustable interferometric set-up for Scanning Microwave Microscopy. This interferometer is designed in order to combine simplicity, a relatively flexible choice of the frequency of interference used for measurements as well as the choice of impedances range where the interference occurs. A vectorial calibration method based on a modified 1-port error model is also proposed. Calibrated measurements of capacitors have been obtained around the test frequency of 3.5 GHz down to about 0.1 fF. Comparison with standard vector network analyzer measurements is shown to assess the performance of the proposed system.Lire moins >

Langue :

Anglais

Vulgarisation :

Non

Projet ANR :

Centre expérimental pour l'étude des propriétés des nanodispositifs dans un large spectre du DC au moyen Infra-rouge.

Collections :

• Institut d'Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie (IEMN) - UMR 8520

Source :

Harvested from HAL