Multi-level microfabrication method used for the 3D AC electroosmotic micropump optimization

Type de document :

Autre communication scientifique (congrès sans actes - poster - séminaire...): Communication dans un congrès avec actes

Titre :

Auteur(s) :

Senez, V. [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]

Titre de la manifestation scientifique :

39th International Conference on Micro and Nano Engineering, MNE 2013

Ville :

London

Pays :

Royaume-Uni

Date de début de la manifestation scientifique :

2013

Langue :

Anglais

Comité de lecture :

Oui

Audience :

Non spécifiée

Vulgarisation :

Non

Collections :

Source :

Multi-level microfabrication method used ... BibTeX CSV Excel RIS