Titre :

AlGaN/GaN heterostructures with very-thin buffer on Si (111) for NEMS applications : electrical and mechanical study

Auteur(s) :

Leclaire, P. [Auteur]
Cordier, Y. [Auteur]
Chenot, Sébastien [Auteur]
Théron, Didier [Auteur]
Faucher, Marc [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]

Titre de la manifestation scientifique :

22nd European Workshop on Heterostructure Technology, HeTech 2013

Ville :

Glasgow, Scotland

Pays :

Royaume-Uni

Date de début de la manifestation scientifique :

2013

Titre de l’ouvrage :

Proceedings of 22nd European Workshop on Heterostructure Technology, HeTech 2013

Date de publication :

2013

Langue :

Anglais

Comité de lecture :

Oui

Audience :

Non spécifiée

Vulgarisation :

Non

Collections :

• Institut d'Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie (IEMN) - UMR 8520

Source :

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