Titre :

Magnetostatic micro-actuator based on ultrasoft elastomeric membrane and copper-permalloy electrodeposited structures

Auteur(s) :

Streque, J. [Auteur]
Talbi, Abdelkrim [Auteur]
Bonnerot, C. [Auteur]
Pernod, Philippe [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Preobrazhensky, Vladimir [Auteur]

Titre de la manifestation scientifique :

25th IEEE Conference on Micro Electro Mechanical Systems, MEMS 2012

Ville :

Paris

Pays :

France

Date de début de la manifestation scientifique :

2012

Titre de l’ouvrage :

Proceedings of 25th IEEE Conference on Micro Electro Mechanical Systems, MEMS 2012

Date de publication :

2012

Langue :

Anglais

Comité de lecture :

Oui

Audience :

Non spécifiée

Vulgarisation :

Non

Collections :

• Institut d'Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie (IEMN) - UMR 8520

Source :

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