Title :

High frequency ultrasound, a tool for elastic properties measurement of thin films fabricated on silicon

Author(s) :

Campistron, Pierre [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Carlier, Julien [Auteur]
Matériaux et Acoustiques pour MIcro et NAno systèmes intégrés - IEMN [MAMINA - IEMN]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Saad, N. [Auteur]
Gao, J. [Auteur]
Toubal, Malika [Auteur]
Dupont, L. [Auteur]
Nassar, Georges [Auteur]
Nongaillard, Bertrand [Auteur]

Journal title :

Advanced Materials Research

Pages :

277-281

Publisher :

Trans Tech Publications

Publication date :

2011

ISSN :

1022-6680

HAL domain(s) :

Sciences de l'ingénieur [physics]

Language :

Anglais

Peer reviewed article :

Oui

Audience :

Non spécifiée

Popular science :

Non

Collections :

• Institut d'Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie (IEMN) - UMR 8520

Source :

Harvested from HAL