PZT films etched by focused Ga3+ ion beam ...

Type de document :
Autre communication scientifique (congrès sans actes - poster - séminaire...): Communication dans un congrès avec actes
Titre :
PZT films etched by focused Ga3+ ion beam : studies of ion damage and post annealing treatment effects
Auteur(s) :
Remiens, Denis [Auteur] refId
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Liang, R.H. [Auteur]
Soyer, Caroline [Auteur] refId
Troadec, david [Auteur] refId
Deresmes, D. [Auteur]
Dacosta, A. [Auteur]
Desfeux, Rachel [Auteur] refId
Titre de la manifestation scientifique :
International Symposium on Piezoresponse Force Microscopy and Nanoscale Phenomena in Polar Materials, PFM 2009
Ville :
Aveiro
Pays :
Portugal
Date de début de la manifestation scientifique :
2009
Langue :
Anglais
Comité de lecture :
Oui
Audience :
Non spécifiée
Vulgarisation :
Non
Collections :
Source :
Harvested from HAL