Polymérisation par plasma pour la fabrication ...

Type de document :
Communication dans un congrès avec actes
Titre :
Polymérisation par plasma pour la fabrication de circuits microfluidiques
Auteur(s) :
Abbas, Abdennour [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Vivien, Celine [Auteur] refId
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Supiot, Philippe [Auteur] refId
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
BOURZGUI, Nour-Eddine [Auteur] refId
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Bocquet, Bertrand [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Guillochon, Didier [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Titre de la manifestation scientifique :
XIIème Congrès de la Société Française de Génie des Procédés
Ville :
Marseille
Pays :
France
Date de début de la manifestation scientifique :
2009-10-14
Titre de l’ouvrage :
Actes du XIIème Congrès de la Société Française de Génie des Procédés
Éditeur :
_
Date de publication :
2009
Discipline(s) HAL :
Sciences de l'ingénieur [physics]
Langue :
Français
Comité de lecture :
Oui
Audience :
Non spécifiée
Vulgarisation :
Non
Collections :
Source :
Harvested from HAL