Titre :

Piezoelectric-actuated, piezoresistive-sensed circular micromembranes for label-free biosensing applications

Auteur(s) :

Alava, Thomas [Auteur]
Mathieu, Fabrice [Auteur]
Rameil, P. [Auteur]
Morel, Y. [Auteur]
Soyer, Caroline [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Remiens, Denis [Auteur]
Nicu, Liviu [Auteur]

Titre de la revue :

Applied Physics Letters

Pagination :

093703-1-3

Éditeur :

American Institute of Physics

Date de publication :

2010

ISSN :

0003-6951

Discipline(s) HAL :

Sciences de l'ingénieur [physics]

Langue :

Anglais

Vulgarisation :

Non

Collections :

• Institut d'Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie (IEMN) - UMR 8520

Source :

Harvested from HAL