Titre :

MEMS resonators actuated by TbCo/FeCo nanostructured magnetostrictive multilayers in liquid environment

Auteur(s) :

Ducloux, O. [Auteur]
Park, J.W. [Auteur]
Tiercelin, Nicolas [Auteur]
Pernod, Philippe [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Preobrazhensky, Vladimir [Auteur]
Hamon, M. [Auteur]
Sakai, Y. [Auteur]
Fujita, H. [Auteur]

Titre de la manifestation scientifique :

15th International Conference on Solid State Sensors, Actuators and Microsystems, Transducers 2009

Pays :

Etats-Unis d'Amérique

Date de début de la manifestation scientifique :

2009

Titre de l’ouvrage :

Proceedings of the 15th International Conference on Solid State Sensors, Actuators and Microsystems, Transducers 2009

Éditeur :

_

Date de publication :

2009

Langue :

Anglais

Comité de lecture :

Oui

Audience :

Non spécifiée

Vulgarisation :

Non

Collections :

• Institut d'Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie (IEMN) - UMR 8520

Source :

Harvested from HAL