Erbium silicide formation under ultra high vacuum

Document type :
Autre communication scientifique (congrès sans actes - poster - séminaire...): Communication dans un congrès avec actes
Title :
Erbium silicide formation under ultra high vacuum
Author(s) :
Breil, N. [Auteur]
DUBOIS, Emmanuel [Auteur] refId
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Morand, Y. [Auteur]
Carron, V. [Auteur]
Halimaoui, A. [Auteur]
Skotnicki, T. [Auteur]
Conference title :
Proceedings of the 16th European Workshop on Materials for Advanced Metallization, MAM 2007
City :
Bruges
Country :
Belgique
Start date of the conference :
2007
HAL domain(s) :
Sciences de l'ingénieur [physics]
Language :
Anglais
Peer reviewed article :
Oui
Audience :
Non spécifiée
Popular science :
Non
Collections :
Source :
Harvested from HAL