Modelling of radiofrequency MEMS bulk ...

Type de document :
Autre communication scientifique (congrès sans actes - poster - séminaire...): Communication dans un congrès avec actes
Titre :
Modelling of radiofrequency MEMS bulk acoustic wave resonators with Legendre polynomial method
Auteur(s) :
Raherison, A. [Auteur]
Ratolojanahary, F.E. [Auteur]
Lefebvre, Jean-Etienne [Auteur]
Elmaimouni, L. [Auteur]
Gryba, Tadeusz [Auteur] refId
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Titre de la manifestation scientifique :
Second ASA-EAA Joint Conference, ACOUSTICS'08
Ville :
Paris
Pays :
France
Date de début de la manifestation scientifique :
2008
Langue :
Anglais
Comité de lecture :
Oui
Audience :
Non spécifiée
Vulgarisation :
Non
Collections :
Source :
Harvested from HAL