Titre :

Growth and structural characterization of cerium oxide thin films realized on Si(111) substrates by on-axis r.f. magnetron sputtering

Auteur(s) :

Ta, M.T. [Auteur]
Briand, D. [Auteur]
Guhel, Y. [Auteur]
Bernard, J. [Auteur]
Pesant, J.C. [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Boudart, B. [Auteur]

Titre de la revue :

Thin Solid Films

Pagination :

450-452

Éditeur :

Elsevier

Date de publication :

2008

ISSN :

0040-6090

Langue :

Anglais

Vulgarisation :

Non

Collections :

• Institut d'Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie (IEMN) - UMR 8520

Source :

Harvested from HAL