Intégration de matériaux piézoélectriques ...
Document type :
Partie d'ouvrage
Title :
Intégration de matériaux piézoélectriques et électrostrictifs dans les dispositifs radio-fréquence à ondes acoustiques
Author(s) :
Volatier, A. [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Publication date :
2007
Language :
Français
Audience :
Non spécifiée
Source :