Etude de gravure sèche en vue de réaliser ...

Type de document :
Autre communication scientifique (congrès sans actes - poster - séminaire...): Communication dans un congrès avec actes
Titre :
Etude de gravure sèche en vue de réaliser un recess de grille de HEMTs sur GaN
Auteur(s) :
Guhel, Y. [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Boudart, B. [Auteur]
Poisson, M.A. [Auteur]
De Jaeger, Jean-Claude [Auteur] refId
Titre de la manifestation scientifique :
8èmes Journées Nationales Microélectronique et Optoélectronique, JNMO 2001
Ville :
Aussois
Pays :
France
Date de début de la manifestation scientifique :
2001
Date de publication :
2001
Langue :
Français
Comité de lecture :
Oui
Audience :
Non spécifiée
Vulgarisation :
Non
Collections :
Source :
Harvested from HAL