Titre :

PZT thin film bi-layer devices for improved actuation in MEMS

Auteur(s) :

Jenkins, D.F.L. [Auteur]
Clegg, W.W. [Auteur]
Cattan, Eric [Auteur]
Remiens, Denis [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]

Date de début de la manifestation scientifique :

2001

Titre de l’ouvrage :

Proceedings of the 12th IEEE International Symposium on Applications of Ferroelectrics, ISAF 2000

Éditeur :

IEEE, Piscataway, NJ, USA

Date de publication :

2001

Langue :

Anglais

Comité de lecture :

Oui

Audience :

Non spécifiée

Vulgarisation :

Non

Collections :

• Institut d'Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie (IEMN) - UMR 8520

Source :

Harvested from HAL