3D self-assembling and actuation of ...

Type de document :
Compte-rendu et recension critique d'ouvrage
Titre :
3D self-assembling and actuation of electrostatic microstructures
Auteur(s) :
Quevy, E. [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Buchaillot, Lionel [Auteur] refId
Collard, D. [Auteur]
Titre de la revue :
IEEE Transactions on Electron Devices
Pagination :
1833-1839
Éditeur :
Institute of Electrical and Electronics Engineers
Date de publication :
2001
ISSN :
0018-9383
Langue :
Anglais
Vulgarisation :
Non
Collections :
Source :
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