Mechanical properties of thin film materials ...

Type de document :
Autre communication scientifique (congrès sans actes - poster - séminaire...): Communication dans un congrès avec actes
Titre :
Mechanical properties of thin film materials for the 2D numerical analysis of deep submicron CMOS technologies
Auteur(s) :
Senez, V. [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Carlotti, G. [Auteur]
de Wolf, I. [Auteur]
Balboni, R. [Auteur]
Benedetti, A. [Auteur]
Piccolo, D. [Auteur]
Mastracchio, G. [Auteur]
Titre de la manifestation scientifique :
Proceedings of the 2001 Material Research Society Fall Meeting
Ville :
Boston, MA
Pays :
Etats-Unis d'Amérique
Date de début de la manifestation scientifique :
2001
Date de publication :
2001
Langue :
Anglais
Comité de lecture :
Oui
Audience :
Non spécifiée
Vulgarisation :
Non
Collections :
Source :
Harvested from HAL