Design method for micro-electro-mechanical ...

Type de document :
Communication dans un congrès avec actes
Titre :
Design method for micro-electro-mechanical band pass filters
Auteur(s) :
Galayko, D. [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Kaiser, Andreas [Auteur] refId
Date de début de la manifestation scientifique :
2001
Titre de l’ouvrage :
Proceedings of the SPIE - International Society for Optical Engineering, 4408
Éditeur :
SPIE – The International Society for Optical Engineering, Bellingham, WA, USA
Date de publication :
2001
Langue :
Anglais
Comité de lecture :
Oui
Audience :
Non spécifiée
Vulgarisation :
Non
Collections :
Source :
Harvested from HAL