Titre :

Large stroke actuation of continuous membrane for adaptive optics by 3D self-assembled microplates

Auteur(s) :

Quevy, E. [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Bigotte, P. [Auteur]
Collard, D. [Auteur]
Buchaillot, Lionel [Auteur]

Titre de la revue :

Sensors and Actuators A: Physical

Pagination :

183-195

Éditeur :

Elsevier

Date de publication :

2002

ISSN :

0924-4247

Langue :

Anglais

Vulgarisation :

Non

Collections :

• Institut d'Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie (IEMN) - UMR 8520

Source :

Harvested from HAL