Design of clamped-clamped beam resonator ...

Type de document :
Communication dans un congrès avec actes
Titre :
Design of clamped-clamped beam resonator in thick-film epitaxial polysilicon technology
Auteur(s) :
Galayko, D. [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Kaiser, Andreas [Auteur] refId
Legrand, Bernard [Auteur]
Buchaillot, Lionel [Auteur] refId
Combi, C. [Auteur]
Collard, D. [Auteur]
Date de début de la manifestation scientifique :
2002
Titre de l’ouvrage :
Proceedings of the 32nd European Solid-State Device Research Conference, ESSDERC 2002
Éditeur :
University of Bologna, Bologna, Italy
Date de publication :
2002
Langue :
Anglais
Comité de lecture :
Oui
Audience :
Non spécifiée
Vulgarisation :
Non
Collections :
Source :
Harvested from HAL