Transmission electron microscopy of silicides ...

Type de document :
Communication dans un congrès avec actes
Titre :
Transmission electron microscopy of silicides used in ALSB-SOI MOSFET structure
Auteur(s) :
Katcki, J. [Auteur]
Ratajczak, J. [Auteur]
Laszcz, A. [Auteur]
Dubois, Emmanuel [Auteur] refId
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Larrieu, G. [Auteur]
Baie, X. [Auteur]
Date de début de la manifestation scientifique :
2004
Titre de l’ouvrage :
Institute of Physics Conference Series, 180
Éditeur :
Institute of Physics
Date de publication :
2004
Langue :
Anglais
Comité de lecture :
Oui
Audience :
Non spécifiée
Vulgarisation :
Non
Collections :
Source :
Harvested from HAL