Electrostatical coupling-spring for ...

Document type :
Communication dans un congrès avec actes
Title :
Electrostatical coupling-spring for micro-mechanical filtering applications
Author(s) :
Galayko, D. [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Kaiser, A. [Auteur]
Buchaillot, L. [Auteur]
Collard, D. [Auteur]
Combi, C. [Auteur]
Start date of the conference :
2003
Book title :
Proceedings of the 2003 International Symposium on Circuits and Systems, ISCAS 2003
Publisher :
IEEE, Piscataway, NJ, USA
Publication date :
2003
Language :
Anglais
Peer reviewed article :
Oui
Audience :
Non spécifiée
Popular science :
Non
Collections :
Source :
Harvested from HAL