TEM characterisation of accumulation low ...
Document type :
Autre communication scientifique (congrès sans actes - poster - séminaire...): Communication dans un congrès avec actes
Title :
TEM characterisation of accumulation low Schottky barrier MOSFET with PtSi contacts
Author(s) :
Laszcz, A. [Auteur]
Katcki, J. [Auteur]
Ratajczak, J. [Auteur]
Czerwinski, A. [Auteur]
Dubois, Emmanuel [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Larrieu, G. [Auteur]
Wallart, Xavier [Auteur]
Katcki, J. [Auteur]
Ratajczak, J. [Auteur]
Czerwinski, A. [Auteur]
Dubois, Emmanuel [Auteur]

Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Larrieu, G. [Auteur]
Wallart, Xavier [Auteur]

Conference title :
School on Materials Science and Electron Microscopy, Microscopy of Tomorrow's Industrial Materials
City :
Berlin
Country :
Allemagne
Start date of the conference :
2005
Publication date :
2005
Language :
Anglais
Peer reviewed article :
Oui
Audience :
Non spécifiée
Popular science :
Non
Source :