Titre :

Numerical analysis of the process induced stresses in silicon microstructures : application to micromachined cantilever

Auteur(s) :

Senez, V. [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Hoffmann, T. [Auteur]
Armigliato, A. [Auteur]
de Wolf, I. [Auteur]

Titre de la revue :

Smart Materials and Structures

Pagination :

S47-S56

Éditeur :

IOP Publishing

Date de publication :

2006

ISSN :

0964-1726

Langue :

Anglais

Vulgarisation :

Non

Collections :

• Institut d'Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie (IEMN) - UMR 8520

Source :

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