Titre :

Lithium Niobate Micro-transducers matrix design

Auteur(s) :

El Rammouz, Hala [Auteur]
Transduction, Propagation et Imagerie Acoustique - IEMN [TPIA - IEMN]
Benmeddour, Farouk [Auteur]
INSA Institut National des Sciences Appliquées Hauts-de-France [INSA Hauts-De-France]
Transduction, Propagation et Imagerie Acoustique - IEMN [TPIA - IEMN]
Assaad, Jamal [Auteur]
Transduction, Propagation et Imagerie Acoustique - IEMN [TPIA - IEMN]
Moulin, Emmanuel [Auteur]
INSA Institut National des Sciences Appliquées Hauts-de-France [INSA Hauts-De-France]
Transduction, Propagation et Imagerie Acoustique - IEMN [TPIA - IEMN]
Dupont, Lucie [Auteur]
Transduction, Propagation et Imagerie Acoustique - IEMN [TPIA - IEMN]
Smagin, Nikolay [Auteur]
Zaatar, Youssef [Auteur]
الجامعة اللبنانية [بيروت] = Lebanese University [Beirut] = Université libanaise [Beyrouth] [LU / ULB]
Herro, Ziad [Auteur]
الجامعة اللبنانية [بيروت] = Lebanese University [Beirut] = Université libanaise [Beyrouth] [LU / ULB]

Éditeur(s) ou directeur(s) scientifique(s) :

F. Hage Chehade

Titre de la manifestation scientifique :

1st International Conference of Engineering Risk (INCER 2019)

Ville :

Beyrouth

Pays :

Liban

Date de début de la manifestation scientifique :

2019-04-03

Titre de l’ouvrage :

MATEC Web of Conferences

Titre de la revue :

International Conference of Engineering Risk (INCER 2019)

Éditeur :

EDP SCIENCES

Date de publication :

2019

Discipline(s) HAL :

Sciences de l'ingénieur [physics]/Micro et nanotechnologies/Microélectronique

Résumé en anglais : [en]

In this work, a two-dimensional (2D) Lithium Niobate (LiNbO 3 ) 36°Y-cut micro-transducers (μTs) matrix design is presented. Two main steps define the fabrication process: electrode deposition and photolithography. These ...
Lire la suite >In this work, a two-dimensional (2D) Lithium Niobate (LiNbO 3 ) 36°Y-cut micro-transducers (μTs) matrix design is presented. Two main steps define the fabrication process: electrode deposition and photolithography. These steps are preceded by the optical mask conception, which defines the 2D matrix pattern. In contrary to the one element case, this μTs matrix allows to automatically scan a desired structure in real time. The μTs matrix is characterized using an impedance analyzer. Furthermore, the experimental tests carried out in order to demonstrate the matrix functionality at low frequencies [200 - 800] kHz are presented.Lire moins >

Langue :

Anglais

Comité de lecture :

Oui

Audience :

Internationale

Vulgarisation :

Non

Collections :

• Institut d'Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie (IEMN) - UMR 8520

Source :

Harvested from HAL